Sustav za magnetronsko rasprašenje (Šestar ID: 786)

Sustav za magnetronsko rasprašenje
  • Opći podaci o instrumentu

    Skraćeni naziv instrumenta

    Magnetronsko rasprašenje

    Opći opis

    Sustav za depoziciju tankih slojeva DC i RF magnetrosnkim rasprašenjem. Uređaj se sastoji od ultra-visokovakuumske komore i magnetronskog izvora. Za postizavnje visokog vakuuma u komori uređaj koristi turbo-molekularnu pumpu povezanu s membranskom pumpom. Radio-frekventni izvor napona omogućava rasprašenje materijala male vodljivosti.

    Uža područja primjene

    materials physics

    Namjena instrumenta

    priprema tankih filmova

    Tijelo koje je financiralo nabavku opreme

    Europska komisija

    Kategorija

    srednja

    Vrsta instrumenta

    uređaj za depoziciju tankih filmova

    Vrsta analize

    priprema uzoraka

    Primjene

    depozicija tankih filmova

    Ključne riječi

    magnetronsko rasprašenje

    Samostalan/Vezan

    Samostalan instrument

    Trenutno stanje instrumenta

    Potpuno funkcionalan

    Godina proizvodnje

    2011

  • Ustanova i lokacija

    Ustanova

    Institut Ruđer Bošković
    Bijenička cesta 54, Zagreb

    Zavod

    Zavod za fiziku materijala

    Laboratorij

    Laboratorij materijala za konverziju energije i senzore

    Grad

    Zagreb

    Ulica i broj

    Bijenička 54

    Krilo/Kat/Soba

    I/0/117

  • Uvjeti korištenja

    Način korištenja instrumenta

    rad uz pomoć ovlaštenog korisnika

    Popis ovlaštenih korisnika

    Krunoslav Juraić

    Je li instrument prenosiv

    ne

    Je li moguće korištenje instrumenta na daljinu (remote)

    ne

  • Kontakt osoba I

    Ime i prezime

    Krunoslav Juraić

    Titula

    dr.sc.

    E-mail

    Krunoslav.Juraic@irb.hr

    Telefon

    +385 1 456 0970

  • Karakteristike

    Detaljne tehničke karakteristike

    - Pumpa; Membranska Vakuum (2002)
    - Sustav; vakuumskih pumpi (2005)
    - Sustav; Izvor čestica za nanošenje tankih filmova Kurt J. Lesker (2011)
    - Komora; za depoziciju poluvodičkih tankih filmova, Vakum Praha (2011)
    - Nosač komore (2011)
    - Vakuummetar, Kurt J. Lesker (2015)
    - Izvor RF, Kurt J. Lesker (2015)
    - Vakummetar, MKS Instruments (2016)
    - Predkomora Ultravisokovakumska, MDC Vacuum (2015)

  • Slike
    sustav za megnetronsko rasprašenje
    sustav za megnetronsko rasprašenje

Natrag