CMS-18 sustav za pripravljanje tankih slojeva postupkom magnetronskog rasprašenja

CMS-18 sustav za pripravljanje tankih slojeva postupkom magnetronskog rasprašenja
  • Opći podaci o instrumentu

    Skraćeni naziv instrumenta

    CMS-18 SPUTTERING SYSTEM

    Opći opis

    CMS-18 uredjaj tvrtke Kurt J. Lesker Co. (Clairton, PA, USA) je integrirani sustav za pripravljanje tankih filmova magnetronskim rasprasenjem. Sa svoja cetiri magnetronska izvora uredjaj omogućava pripravljanje različitih (metalnih, poluvodičkih, dielektričnih, metastabilnih itd.) materijala u širokom rasponu sastava i struktura postupcima depozicije, kodepozicije, sekvencijalne depozicije i reaktivne depozicije na različite podloge.

    Uža područja primjene

    znanost o materijalima, fizika

    Namjena instrumenta

    pripravljanje tankih slojeva različitih materijala, strukture i organizacije

    Popis usluga

    pripravljanje uzoraka

    Opis na stranicama zavoda/laboratorija

    http://www.r-i.hr/index.php?option=com_content&task=view&id=74&Itemid=76

    Kategorija

    kapitalna

    Vrsta instrumenta

    alat za fabrikaciju

    Vrsta analize

    strukturna analiza

    Samostalan/Vezan

    Samostalan instrument

    Trenutno stanje instrumenta

    Potpuno funkcionalan

  • Ustanova i lokacija

    Ustanova

    Institut Ruđer Bošković
    Bijenička cesta 54, Zagreb

  • Uvjeti korištenja

    Način korištenja instrumenta

    znanstvena suradnja, servis uz naplatu za sve korisnike

    Upute za korisnike

    Poslati zahtijev na kontakt mail. Slobodne termine pogledati kalendar na stranici: https://calendar.google.com/calendar/embed?src=tfsputtering%40gmail.com&ctz=America/New_York

    Cjenik korištenja

    Cjenik korištenja se određuje na temelju zahtijeva za depoziciju (materijali, podloge, potrebe plazma čišćenja i tretiranja podloga, izrada maski i slično)



    Broj istovrsnih instrumenata u ustanovi

    1

    Je li instrument prenosiv

    ne

    Je li moguće korištenje instrumenta na daljinu (remote)

    ne

  • Kontakt osoba I

    Ime i prezime

    Maja Buljan

    Titula

    Dr.sc.

    E-mail

    mbuljan@irb.hr

    Telefon

    (01) 4680 224

    Faks

    (01) 4680 114

    Mobitel

    -

  • Slike
    Uređaj za depoziciju tankih filmova tehnikom magnetronskog rasprašenja
    Uređaj za depoziciju tankih filmova tehnikom magnetronskog rasprašenja
    Besprašna komora za pripravu uzoraka
    Besprašna komora za pripravu uzoraka

Natrag