Optička litografija u uvjetima čiste sobe (Šestar ID: 1845)

Optička litografija u uvjetima čiste sobe
  • Opći podaci o instrumentu

    Skraćeni naziv instrumenta

    Optička litografija

    Inventarni broj

    uređaj za poravnavanje maski: Sveučilište u Splitu 2827; čista soba: Sveučilište u Splitu S3437

    Opći opis

    Sustav sačinjavaju sljedeći uređaji: uređaj za poravnavanje maski ('mask aligner') austrijskog proizvođača EVGroup, model EVG610 koji je smješten na antivibracijskom stolu, rotator za nanošenje fotorezista brzom rotacijom uzorka ('spin coater') proizvođača Sawatec, model SW-180, digestora Captair 391 Smart proizvođača Erlab te grijaće ploče.
    Sve je smješteno u čistoj sobi sa žutim svjetlom površine oko 13 m2, kojega je proizvela i instalirala hrvatska tvrtka Klimaoprema.

    Uža područja primjene

    fizika kondenzirane materije; biofizika; mikroelektronika; fizikalna kemija

    Namjena instrumenta

    mikrostrukturiranje tankih filmova

    Popis usluga

    mikrostrukturiranje tankih filmova

    Tijelo koje je financiralo nabavku opreme

    Ministarstvo znanosti i obrazovanja RH (MZO), Europska komisija, HAMAG-BICRO, Županija Splitsko-dalmatinska

    Naziv projekta u sklopu kojeg je instrument nabavljen

    Jačanje kapaciteta za primjenu i transfer tehnologije mikro-elektromehaničkih sustava na Sveučilištu u Splitu (MEMSplit)

    Kategorija

    kapitalna

    Vrsta instrumenta

    uređaj za pripremu uzoraka

    Ključne riječi

    optička litografija; mikrostrukturiranje

    Samostalan/Vezan

    Samostalan instrument

    Trenutno stanje instrumenta

    Potpuno funkcionalan

    Procijenjeni broj korisnika

    10

    Godina proizvodnje

    2015

  • Ustanova i lokacija

    Ustanova

    Sveučilište u Splitu, Prirodoslovno-matematički fakultet
    Teslina 12, Split

  • Uvjeti korištenja

    Način korištenja instrumenta

    rad uz pomoć ovlaštenog korisnika, znanstvena suradnja

    Znanstvena suradnja

    moguće korištenje uz pomoć kvalificirane/zadužene osobe

    Je li instrument prenosiv

    ne

    Je li moguće korištenje instrumenta na daljinu (remote)

    ne

  • Kontakt osoba I

    Ime i prezime

    Ante Bilušić

    Titula

    prof. dr. sc.

    E-mail

    bilusic@pmfst.hr

    Telefon

    021 619 295

    Faks

    021 619 227

    Mobitel

    098 511 370

  • Karakteristike

    Model

    uređaj za poravanavanje maski: EVG 610; rotator: SW-180; digestor: Captair 391 Smart; čista soba: Klimaoprema

    Mrežna (URL) adresa instrumenta na stranicama proizvođača

    uređaj za poravanavanje maski: https://www.evgroup.com/en/products/lithography/photolithography/mask_aligners/evg610maskalignment/; rotator: http://sawatec.com/en/products/; digestor: https://www.erlab.com/upload/image/_download/01_ductless_fume_hood/391/

    Princip rada i mjerna tehnika

    Definiranje mikrostruktura na tankom filmu preslikavanjem odgovarajućih struktura s fotolitografske maske.
    Postupak podrazumijeva nanošenje odgovarajućeg fotorezista na film rotatorom, njegovo zagrijavanje na grijaćoj ploči, osvjetljavanjem ultraljubičastim svjetlom preko fotolitografske maske na uređaju za poravanavanje maski, razvijanje osvijetljenog fotorezista te kemijsko jetkanje.

    Radno i mjerno područje

    Najmanje strukture do 1 mikrometar

    Proizvođač

    uređaj za poravanavanje maski: EVGroup; rotator: Sawatec; digestor: Erlab; čista soba: Klimaoprema

    Mrežna (URL) adresa proizvođača

    uređaj za poravanavanje maski: https://www.evgroup.com/; rotator: http://sawatec.com/; digestor: https://www.erlab.com/; čista soba: www.klimaoprema.hr

    Nabavna cijena

    1699300

    Procijenjena trenutna vrijednost opreme

    1650000

    Vijek trajanja

    najmanje 15 godina

  • Slike
    Sustav za optičku litografiju
    Sustav za optičku litografiju
    Čista soba
    Čista soba

Natrag