Uređaj za magnetronsko rasprašenje (Šestar ID: 1811)

Uređaj za magnetronsko rasprašenje
  • Opći podaci o instrumentu

    Skraćeni naziv instrumenta

    Magnetronsko rasprašenje

    Inventarni broj

    Sveučilište u Splitu, inv. br. 2748

    Opći opis

    Model uređaja je Classic 250, a proizvođač je Pfeiffer Vacuum, Njemačka. Uređaj ima jednu metu promjera 3" spojenu na isosmjerni (dc-) naponski izvor najveće snage 1kW, što omogućava rasprašenje metala na substratu promjera do 5".

    Uža područja primjene

    fizika kondenzirane tvari, biofizika, kemija, elektronika

    Namjena instrumenta

    stvaranje tankih metalnih filmova debljine od nekoliko desetaka nanometara do nekoliko mikrometara

    Popis usluga

    nanošenje tankih metalnih filmova

    Tijelo koje je financiralo nabavku opreme

    Ministarstvo znanosti i obrazovanja RH (MZO), Europska komisija

    Naziv projekta u sklopu kojeg je instrument nabavljen

    Jačanje kapaciteta za primjenu i transfer tehnologije mikro-elektromehaničkih sustava na Sveučilištu u Splitu(MEMSplit)

    Kategorija

    kapitalna

    Vrsta instrumenta

    uređaj za pripremu uzoraka

    Primjene

    priprema uzoraka

    Ključne riječi

    dc magnetronsko rasprašenje, tanki filmovi

    Samostalan/Vezan

    Samostalan instrument

    Trenutno stanje instrumenta

    Potpuno funkcionalan

    Procijenjeni broj korisnika

    10

    Godina proizvodnje

    2015

  • Ustanova i lokacija

    Ustanova

    Sveučilište u Splitu, Prirodoslovno-matematički fakultet
    Teslina 12, Split

  • Uvjeti korištenja

    Način korištenja instrumenta

    rad uz pomoć ovlaštenog korisnika, znanstvena suradnja

    Upute za korisnike

    promjer substrata do 5"

    Broj istovrsnih instrumenata u ustanovi

    1

    Znanstvena suradnja

    moguće korištenje uz pomoć kvalificirane/zadužene osobe

    Je li instrument prenosiv

    ne

    Je li moguće korištenje instrumenta na daljinu (remote)

    ne

  • Kontakt osoba I

    Ime i prezime

    Ante Bilušić

    Titula

    prof. dr. sc.

    E-mail

    bilusic@pmfst.hr

    Telefon

    021 619 295

    Faks

    021 619 227

    Mobitel

    098 511 370

  • Karakteristike

    Model

    Pfeiffer Classic 250

    Mrežna (URL) adresa instrumenta na stranicama proizvođača

    https://www.pfeiffer-vacuum.com/filepool/File/Literature/PA0034PEN-Coating-Systems.pdf;jsessionid=17A6F6BCFB2CD2B04E520284ECDC05A6-n2?referer=2039&request_locale=en_US

    Princip rada i mjerna tehnika

    Nanošenje tankih metalnih filmova metodom magnetronskog rasprašenja

    Radno i mjerno područje

    debljine filmova od nekoliko desetaka nanometara do nekoliko mikrometara

    Proizvođač

    Pfeiifer Vacuum

    Mrežna (URL) adresa proizvođača

    https://www.pfeiffer-vacuum.com/en/

    Nabavna cijena

    755200

    Procijenjena trenutna vrijednost opreme

    700000

    Vijek trajanja

    najmanje 15 godina

  • Slike
    Pfeiffer Classic 250
    Pfeiffer Classic 250
    Pfeiffer Classic 250 (kontrolno računalo i istosmjerni naponski izvor)
    Pfeiffer Classic 250 (kontrolno računalo i istosmjerni naponski izvor)

Natrag