Maseni spektrometar sekundarnih iona (Šestar ID: 1427)

Maseni spektrometar sekundarnih iona
  • Opći podaci o instrumentu

    Skraćeni naziv instrumenta

    SIMS

    Inventarni broj

    3714 (Sveučilište u Rijeci)

    Opći opis

    Masena spektroskopija sekundarnih iona (SIMS) je analitička tehnika za elementnu analizu i mjerenje ultraniskih koncentracija primjesa i nečistoća u različitim materijalima i tankim filmovima s posebno značajnom primjenom u fizici poluvodiča i poluvodičkoj tehnologiji. Detekcijske granice su za većinu elemenata u ppm ili čak u ppb području, pa je po tome SIMS jedna od najosjetljivijih tehnika za elementnu analizu.

    SIMS se temelji na detekciji iona (sekundarnih iona) izbijenih s površine uzorka za vrijeme bombardiranja površine energetskim ionima (primarnim ionima). Primarni ioni erodiraju površinu (sputtering), a mali postotak izbačenih atoma ili molekula je ioniziran (sekundarni ioni). Kao izvor primarnih iona naš uređaj koristi ione Cs+, O2+ ili Ar+, a može detektirati pozitivne ili negativne sekundarne ione (atomske i molekularne) u rasponu 1amu do 500 amu, koristeći kvadrupolni maseni analizator.

    U statičkom modu, SIMS se koristi za analizu elemenata na samoj površini uzoraka, a u dinamičkom modu, kroz eroziju površine (stvaranje kratera na površini), za dubinsko profiliranje elemenata. Naš instrument posjeduje i mogućnost detekcije neutralnih atoma i molekula kroz SNMS mode (Masena spektroskopija sekundarnih netralnih čestica, Sputtered Neutral Mass Spectroscopy). Neutralni atomi izbačeni s površine uzoraka za vrijeme ionskog bombardiranja prije ulaska u kvadrupol se ioniziraju pomoću elektronskog izvora.

    Uža područja primjene

    fizika materijala, površinska fizika

    Namjena instrumenta

    analiza elementnog sastava površine, dubinsko profiliranje elemenata

    Tijelo koje je financiralo nabavku opreme

    Ministarstvo znanosti i obrazovanja RH (MZO), Europska komisija

    Naziv projekta u sklopu kojeg je instrument nabavljen

    Razvoj istraživačke infrastrukture na Kampusu Sveučilišta u Rijeci

    Kategorija

    kapitalna

    Vrsta instrumenta

    spektrometar

    Vrsta analize

    elementna analiza

    Primjene

    analiza elemenata u tragovima

    Ključne riječi

    masena spektrometrija, elementna analiza, dubinsko profiliranje

    Samostalan/Vezan

    Samostalan instrument

    Trenutno stanje instrumenta

    Potpuno funkcionalan

    Procijenjeni broj korisnika

    15

    Godina proizvodnje

    2015

  • Ustanova i lokacija

    Ustanova

    Sveučilište u Rijeci, Centar za mikro- i nanoznanosti i tehnologije
    Radmile Matejčić 2, Rijeka

    Zavod

    Zavod za eksperimentalnu i primijenjenu fiziku

    Laboratorij

    Laboratorij za fiziku površina

    Grad

    Rijeka

    Ulica i broj

    Radmile Matejčić 2

    Krilo/Kat/Soba

    O-S20

  • Uvjeti korištenja

    Način korištenja instrumenta

    znanstvena suradnja, servis uz naplatu za korisnike izvan sustava MZOS

    Upute za korisnike

    Uzorci za analizu moraju biti u krutom stanju (čvrsti ili u praškastom obliku), nije dozvoljen samostalan rad vanjskim korisnicima na instrumentu - mjerenje i analizu rezultata rade ovlašteni korisnici.

    Popis ovlaštenih korisnika

    doc. dr. sc. Robert Peter (Odjel za fiziku i Centar za mikro- i nanoznanosti i tehnologije Sveučilište u Rijeci)
    doc. dr. sc. Iva Šarić (Odjel za fiziku i Centar za mikro- i nanoznanosti i tehnologije, Sveučilište u Rijeci)
    doc. dr. sc. Ivana Jelovica Badovinac (Odjel za fiziku i Centar za mikro- i nanoznanosti i tehnologije, Sveučilište u Rijeci)
    prof. dr. sc. Mladen Petravić (Odjel za fiziku, Sveučilište u Rijeci)

    Broj istovrsnih instrumenata u ustanovi

    1

    Znanstvena suradnja

    kvalificirana/zadužena osoba radi cjelovitu analizu (priprema, snimanje i interpretacija)

    Je li instrument prenosiv

    ne

    Je li moguće korištenje instrumenta na daljinu (remote)

    ne

  • Kontakt osoba I

    Ime i prezime

    Robert Peter

    Titula

    doc. dr. sc.

    E-mail

    rpeter@uniri.hr

    Telefon

    051 584 621

    Faks

    051 584 649

  • Kontakt osoba II

    Ime i prezime

    Ivana Jelovica Badovinac

    Titula

    doc. dr. sc.

    E-mail

    ijelov@uniri.hr

    Telefon

    051 584 607

    Faks

    051 584 649

  • Karakteristike

    Model

    Hiden SIMS Workstation

    Mrežna (URL) adresa instrumenta na stranicama proizvođača

    www.hidenanalytical.com/products/for-thin-films-plasma-and-surface-engineering/sims-workstation/

    Princip rada i mjerna tehnika

    SIMS je maseni spektrometar koji koristi ionsko rasprašivanje (tzv. primarni ioni) za dekompoziciju uzorka čija se analiza provodi. Sekundarni ioni, koji se generiraju iz uzorka, se analiziraju pomoću kvadropolnog masenog spektrometra, čime se mjeri maseni spektar. Ionsko rasprašivanje se, također, može koristiti i za dubinsko profiliranje željenog elementa u uzorku.

    Radno i mjerno područje

    raspod masa: 1- 500 amu

    Proizvođač

    Hiden Analytical Ltd., Warrington, Ujedinjeno Kraljevstvo

    Mrežna (URL) adresa proizvođača

    www.hidenanalytical.com/

    Nabavna cijena

    4153000

    Procijenjena vrijednost nabavke nove opreme istovjetnih karakteristika

    -

    Vijek trajanja

    20 godina

    Ostale tehničke karakteristike

    a) ionski top za niskoenergetske ione inertnih ili reaktivnih plinova (IG20):
    - raspon energija 0.5 – 5 keV (O2+ ili Ar+ ioni)
    - širina ionske zrake od 100 μm
    - raster ionske zrake u X-Y smjeru: ±4 mm

    b) cezijev ionski top (IG5C):
    - rasponom energija 0.5 – 5 keV
    - širina ionske zrake od 100 μm
    -raster ionske zrake u X-Y smjeru: ±4 mm

    c) kvadropolni maseni analizator (MAXIM HAL7):
    - raspon: 1- 500 amu
    - kvadropolni maseni filtar s cilindričnim elektrodama promjera 9mm
    - detektor s pulsnim brojačem iona i elektronskim multiplikatorom
    -ionizacijski izvor za analizu rezidualnih plinova (RGA) I masenu spektrometriju neutralnih atoma proizvedenih rasprašivanjem (SNMS spektrometrija)

    d) elektronski top (FG 500 – proizvođač SPECS) – za neutalizaciju površine

  • Slike
    SIMS maseni spektrometar proizvođača "Hiden Analytical"
    SIMS maseni spektrometar proizvođača "Hiden Analytical"
  • Dokumenti
  • Linkovi

Natrag