Pretražni elektronski mikroskop opremljen detektorom sekundarnih elektrona (SE), detektorom povratno raspršenih elektrona (BSE) i detektorom X-zraka (EDS). Mikroskop može raditi u uvjetima niskog vakuuma (do 500 Pa dušika), te je opremljen elektronskom (e-beam) litografijom.
Naziv projekta u sklopu kojeg je instrument nabavljen
Znanstveni centar izvrsnosti za napredne materijale i senzore