Optička litografija u uvjetima čiste sobe (Šestar ID: 1845)
- Opći podaci o instrumentu
Skraćeni naziv instrumenta
Optička litografija
Inventarni broj
uređaj za poravnavanje maski: Sveučilište u Splitu 2827; čista soba: Sveučilište u Splitu S3437
Opći opis
Sustav sačinjavaju sljedeći uređaji: uređaj za poravnavanje maski ('mask aligner') austrijskog proizvođača EVGroup, model EVG610 koji je smješten na antivibracijskom stolu, rotator za nanošenje fotorezista brzom rotacijom uzorka ('spin coater') proizvođača Sawatec, model SW-180, digestora Captair 391 Smart proizvođača Erlab te grijaće ploče.
Sve je smješteno u čistoj sobi sa žutim svjetlom površine oko 13 m2, kojega je proizvela i instalirala hrvatska tvrtka Klimaoprema.Uža područja primjene
fizika kondenzirane materije; biofizika; mikroelektronika; fizikalna kemija
Namjena instrumenta
mikrostrukturiranje tankih filmova
Popis usluga
mikrostrukturiranje tankih filmova
Tijelo koje je financiralo nabavku opreme
Ministarstvo znanosti i obrazovanja RH (MZO), Europska komisija, HAMAG-BICRO, Županija Splitsko-dalmatinska
Naziv projekta u sklopu kojeg je instrument nabavljen
Jačanje kapaciteta za primjenu i transfer tehnologije mikro-elektromehaničkih sustava na Sveučilištu u Splitu (MEMSplit)
Kategorija
kapitalna
Vrsta instrumenta
uređaj za pripremu uzoraka
Ključne riječi
optička litografija; mikrostrukturiranje
Samostalan/Vezan
Samostalan instrument
Trenutno stanje instrumenta
Potpuno funkcionalan
Procijenjeni broj korisnika
10
Godina proizvodnje
2015
- Ustanova i lokacija
Ustanova
Sveučilište u Splitu, Prirodoslovno-matematički fakultet
Ruđera Boškovića 33, Split - Uvjeti korištenja
Način korištenja instrumenta
rad uz pomoć ovlaštenog korisnika, znanstvena suradnja
Znanstvena suradnja
moguće korištenje uz pomoć kvalificirane/zadužene osobe
Je li instrument prenosiv
ne
Je li moguće korištenje instrumenta na daljinu (remote)
ne
- Voditelj instrumenta (Kontakt osoba I)
Ime i prezime
Ante Bilušić
Titula
prof. dr. sc.
E-mail
bilusic@pmfst.hr
Telefon
021 619 295
Faks
021 619 227
Mobitel
098 511 370
- Karakteristike
Model
uređaj za poravanavanje maski: EVG 610; rotator: SW-180; digestor: Captair 391 Smart; čista soba: Klimaoprema
Mrežna (URL) adresa instrumenta na stranicama proizvođača
uređaj za poravanavanje maski: https://www.evgroup.com/en/products/lithography/photolithography/mask_aligners/evg610maskalignment/; rotator: http://sawatec.com/en/products/; digestor: https://www.erlab.com/upload/image/_download/01_ductless_fume_hood/391/
Princip rada i mjerna tehnika
Definiranje mikrostruktura na tankom filmu preslikavanjem odgovarajućih struktura s fotolitografske maske.
Postupak podrazumijeva nanošenje odgovarajućeg fotorezista na film rotatorom, njegovo zagrijavanje na grijaćoj ploči, osvjetljavanjem ultraljubičastim svjetlom preko fotolitografske maske na uređaju za poravanavanje maski, razvijanje osvijetljenog fotorezista te kemijsko jetkanje.Radno i mjerno područje
Najmanje strukture do 1 mikrometar
Proizvođač
uređaj za poravanavanje maski: EVGroup; rotator: Sawatec; digestor: Erlab; čista soba: Klimaoprema
Mrežna (URL) adresa proizvođača
uređaj za poravanavanje maski: https://www.evgroup.com/; rotator: http://sawatec.com/; digestor: https://www.erlab.com/; čista soba: www.klimaoprema.hr
Nabavna cijena
1699300
Procijenjena trenutna vrijednost opreme
1650000
Vijek trajanja
najmanje 15 godina
-
Slike
Sustav za optičku litografiju
Čista soba
