Maseni spektrometar sekundarnih iona (Šestar ID: 1427)
- Opći podaci o instrumentu
Skraćeni naziv instrumenta
SIMS
Inventarni broj
3714 (Sveučilište u Rijeci)
Opći opis
Masena spektroskopija sekundarnih iona (SIMS) je analitička tehnika za elementnu analizu i mjerenje ultraniskih koncentracija primjesa i nečistoća u različitim materijalima i tankim filmovima s posebno značajnom primjenom u fizici poluvodiča i poluvodičkoj tehnologiji. Detekcijske granice su za većinu elemenata u ppm ili čak u ppb području, pa je po tome SIMS jedna od najosjetljivijih tehnika za elementnu analizu.
SIMS se temelji na detekciji iona (sekundarnih iona) izbijenih s površine uzorka za vrijeme bombardiranja površine energetskim ionima (primarnim ionima). Primarni ioni erodiraju površinu (sputtering), a mali postotak izbačenih atoma ili molekula je ioniziran (sekundarni ioni). Kao izvor primarnih iona naš uređaj koristi ione Cs+, O2+ ili Ar+, a može detektirati pozitivne ili negativne sekundarne ione (atomske i molekularne) u rasponu 1amu do 500 amu, koristeći kvadrupolni maseni analizator.
U statičkom modu, SIMS se koristi za analizu elemenata na samoj površini uzoraka, a u dinamičkom modu, kroz eroziju površine (stvaranje kratera na površini), za dubinsko profiliranje elemenata. Naš instrument posjeduje i mogućnost detekcije neutralnih atoma i molekula kroz SNMS mode (Masena spektroskopija sekundarnih netralnih čestica, Sputtered Neutral Mass Spectroscopy). Neutralni atomi izbačeni s površine uzoraka za vrijeme ionskog bombardiranja prije ulaska u kvadrupol se ioniziraju pomoću elektronskog izvora.Uža područja primjene
fizika materijala, površinska fizika
Namjena instrumenta
analiza elementnog sastava površine, dubinsko profiliranje elemenata
Tijelo koje je financiralo nabavku opreme
Ministarstvo znanosti i obrazovanja RH (MZO), Europska komisija
Naziv projekta u sklopu kojeg je instrument nabavljen
Razvoj istraživačke infrastrukture na Kampusu Sveučilišta u Rijeci
Kategorija
kapitalna
Vrsta instrumenta
spektrometar
Vrsta analize
elementna analiza
Primjene
analiza elemenata u tragovima
Ključne riječi
masena spektrometrija, elementna analiza, dubinsko profiliranje
Samostalan/Vezan
Samostalan instrument
Trenutno stanje instrumenta
Potpuno funkcionalan
Procijenjeni broj korisnika
15
Godina proizvodnje
2015
- Ustanova i lokacija
Ustanova
Sveučilište u Rijeci, Centar za mikro- i nanoznanosti i tehnologije
Radmile Matejčić 2, RijekaZavod
Zavod za eksperimentalnu i primijenjenu fiziku
Laboratorij
Laboratorij za fiziku površina
Grad
Rijeka
Ulica i broj
Radmile Matejčić 2
Krilo/Kat/Soba
O-S20
- Uvjeti korištenja
Način korištenja instrumenta
znanstvena suradnja, servis uz naplatu za korisnike izvan sustava MZOS
Upute za korisnike
Uzorci za analizu moraju biti u krutom stanju (čvrsti ili u praškastom obliku), nije dozvoljen samostalan rad vanjskim korisnicima na instrumentu - mjerenje i analizu rezultata rade ovlašteni korisnici.
Popis ovlaštenih korisnika
doc. dr. sc. Robert Peter (Odjel za fiziku i Centar za mikro- i nanoznanosti i tehnologije Sveučilište u Rijeci)
doc. dr. sc. Iva Šarić (Odjel za fiziku i Centar za mikro- i nanoznanosti i tehnologije, Sveučilište u Rijeci)
doc. dr. sc. Ivana Jelovica Badovinac (Odjel za fiziku i Centar za mikro- i nanoznanosti i tehnologije, Sveučilište u Rijeci)
prof. dr. sc. Mladen Petravić (Odjel za fiziku, Sveučilište u Rijeci)Broj istovrsnih instrumenata u ustanovi
1
Znanstvena suradnja
kvalificirana/zadužena osoba radi cjelovitu analizu (priprema, snimanje i interpretacija)
Je li instrument prenosiv
ne
Je li moguće korištenje instrumenta na daljinu (remote)
ne
- Voditelj instrumenta (Kontakt osoba I)
Ime i prezime
Robert Peter
Titula
doc. dr. sc.
E-mail
rpeter@uniri.hr
Telefon
051 584 621
Faks
051 584 649
- Kontakt osoba II
Ime i prezime
Ivana Jelovica Badovinac
Titula
doc. dr. sc.
E-mail
ijelov@uniri.hr
Telefon
051 584 607
Faks
051 584 649
- Karakteristike
Model
Hiden SIMS Workstation
Mrežna (URL) adresa instrumenta na stranicama proizvođača
www.hidenanalytical.com/products/for-thin-films-plasma-and-surface-engineering/sims-workstation/
Princip rada i mjerna tehnika
SIMS je maseni spektrometar koji koristi ionsko rasprašivanje (tzv. primarni ioni) za dekompoziciju uzorka čija se analiza provodi. Sekundarni ioni, koji se generiraju iz uzorka, se analiziraju pomoću kvadropolnog masenog spektrometra, čime se mjeri maseni spektar. Ionsko rasprašivanje se, također, može koristiti i za dubinsko profiliranje željenog elementa u uzorku.
Radno i mjerno područje
raspod masa: 1- 500 amu
Proizvođač
Hiden Analytical Ltd., Warrington, Ujedinjeno Kraljevstvo
Mrežna (URL) adresa proizvođača
www.hidenanalytical.com/
Nabavna cijena
4153000
Vijek trajanja
20 godina
Ostale tehničke karakteristike
a) ionski top za niskoenergetske ione inertnih ili reaktivnih plinova (IG20):
- raspon energija 0.5 – 5 keV (O2+ ili Ar+ ioni)
- širina ionske zrake od 100 μm
- raster ionske zrake u X-Y smjeru: ±4 mm
b) cezijev ionski top (IG5C):
- rasponom energija 0.5 – 5 keV
- širina ionske zrake od 100 μm
-raster ionske zrake u X-Y smjeru: ±4 mm
c) kvadropolni maseni analizator (MAXIM HAL7):
- raspon: 1- 500 amu
- kvadropolni maseni filtar s cilindričnim elektrodama promjera 9mm
- detektor s pulsnim brojačem iona i elektronskim multiplikatorom
-ionizacijski izvor za analizu rezidualnih plinova (RGA) I masenu spektrometriju neutralnih atoma proizvedenih rasprašivanjem (SNMS spektrometrija)
d) elektronski top (FG 500 – proizvođač SPECS) – za neutalizaciju površine -
Slike
SIMS maseni spektrometar proizvođača "Hiden Analytical" - Dokumenti
- Linkovi
Hiden SIMS maseni spektrometar-brošura